Čo je to plazmová indikačná páska?

Páska s indikátorom plazmy je inteligentný detekčný materiál špeciálne používaný pre vákuové systémy a plazmové procesy. Poskytuje spätnú väzbu o kľúčových parametroch v reálnom čase prostredníctvom špeciálnych fyzikálnych a chemických zmien. Dokáže intuitívne zobraziť stavy plazmy a mikroúniky, ktoré sú pre ľudské oko neviditeľné.

1. Bezpečnostné opatrenia pri používaní plazmovej indikátorovej pásky

(1). Predúprava povrchu

Pred lepením musí byť testovaný povrch očistený acetónom alebo izopropylalkoholom. Po zotretí ho nechajte 2 minúty odstáť, aby sa zabezpečilo úplné odparenie rozpúšťadla. Povrchová energia po ošetrení by mala byť ≥38 dyn/cm, čo možno overiť testom dynovým perom. Nedotýkajte sa lepiacej plochy priamo prstami, aby ste predišli kontaminácii olejom, ktorá môže spôsobiť zníženie citlivosti.

(2). Operácia prilepenia

Po odlepení indikačnej pásky z antistatickej uvoľňovacej fólie ju pomaly rolujte pozdĺž jedného konca a aplikujte rovnomerný tlak 0,5-1 kg/cm². Pomocou silikónovej škrabky zatlačte okraj, aby ste odstránili bubliny. Malé bubliny s priemerom ≤ 1 mm sú povolené. Po nalepení ho nechajte 5 minút odstáť, aby sa vrstva lepidla úplne vyrovnala. Opakované odlupovanie a lepenie je prísne zakázané. Každé opätovné nalepenie spôsobí, že lepidlo sa zníži o viac ako 50 %.

2. Kritériá zlyhania plazmovej indikačnej pásky

(1) Kritériá fyzického zlyhania

Poškodenie podkladu: vyskytujú sa viditeľné trhliny (dĺžka > 2 mm) alebo delaminácia a podklad sa nenávratne deformuje (polomer ohybu > 15°).
Porucha lepidla: zvyšková plocha povrchu lepidla > 5 % (ovplyvňuje opätovnú priľnavosť), pevnosť v odlupovaní klesne na menej ako 30 % pôvodnej hodnoty (treba otestovať prístrojom na skúšanie ťahu).
Znečistenie a korózia: na povrchu priľnú neodstrániteľné častice kontaminantov (veľkosť častíc > 50 μm a hustota > 3/cm²) a substrát je erodovaný plazmou za vzniku otvorov (priemer > 1 mm).

(2) Kritériá chemického zlyhania

Abnormálna reakcia na zmenu farby: za štandardných podmienok (ako je 50W argónová plazma) čas zmeny farby presahuje nominálnu hodnotu o ±30 % a oblasť zmeny farby vykazuje nerovnomernú difúziu (rozdiel priemeru farebných škvŕn > 20 %).
Porucha povlaku: citlivá oblasť odlupovania povlaku > 10 % (pozorovanie pod mikroskopom), hodnota ΔE klesne po opakovanom použití > 40 % (detekcia spektrofotometrom). Poškodenie chemickej stability: K krehnutiu substrátu dochádza po vystavení korozívnym plynom (ako je Cl2, F2) a kumulatívnom vystavení koncentrácii ozónu vyššej ako 0,2 ppm na viac ako 24 hodín.

Plazmová indikačná páska sa musí vymeniť, ak nastanú nasledujúce podmienky:
Na podklade vznikajú trhliny alebo delaminácia s dĺžkou väčšou ako 2 mm; Zvyšková plocha lepidla väčšia ako 5 % ovplyvňuje prelepenie; Čas odozvy zmeny farby sa zvýši o viac ako 50 % v porovnaní s počiatočnou hodnotou; Kumulovaný expozičný čas prekračuje výrobcom udávanú životnosť.

3. Podmienky skladovania plazmovej indikátorovej pásky

(1) Požiadavky na životné prostredie

Teplota: 15-25 ℃ (kolísanie < ± 3 ℃/h)
Odolnosť voči svetlu: UV intenzita <10μW/cm²
Prachotesný: Trieda čistoty 1000 alebo nižšia

(2) Špecifikácie balenia

Originálne zatavené vrecko z hliníkovej fólie (miera priepustnosti vodnej pary <0,1 g/m²/deň)
Uložené mimo zeme v antistatickej skrini (povrchový odpor 10³-10⁶Ω)